今天小編給大家?guī)淼倪@篇文章的一個(gè)主要的內(nèi)容是關(guān)于物體表面形貌測(cè)量的幾種常見的測(cè)量方法的一個(gè)簡單的介紹，具體的介紹內(nèi)容如下：表面形貌測(cè)量具體可以分為這么幾種常見的表面形貌測(cè)量方法：機(jī)械探針式測(cè)量方法、光學(xué)探針式測(cè)量方法、干涉顯微測(cè)量方法、掃描電子顯微鏡以及掃描探針顯微鏡這么5種比較常見的關(guān)于物體表面形貌測(cè)量的幾種測(cè)量方法。

 

下面，小編首先來給大家介紹以下關(guān)于機(jī)械探針式形貌測(cè)量方法。像機(jī)械探針式形貌測(cè)量方法的主要的一個(gè)特征就是測(cè)量的范圍比較的大，而且機(jī)械探針式形貌測(cè)量方法的測(cè)量精度也是屬于比較高的，唯一不足的就是這種機(jī)械探針式形貌測(cè)量方法主語是一種點(diǎn)掃描測(cè)量，所以在測(cè)量的過程中就會(huì)比較浪費(fèi)時(shí)間。

 

機(jī)械探針式形貌測(cè)量方法其實(shí)是在這幾種關(guān)于形貌測(cè)量方法中是開發(fā)較早、研究最充分的一種測(cè)量方法。機(jī)械探針式形貌測(cè)量方法在測(cè)量的過程中主要還是在被測(cè)表面利用機(jī)械探針接觸，當(dāng)探針沿著被測(cè)表面展開移動(dòng)的時(shí)候，被測(cè)表面的因?yàn)闀?huì)存在著一些比較凹凸不平的地方，所以就會(huì)使探針進(jìn)行上下移動(dòng)的動(dòng)作，這樣的話，移動(dòng)量由以及和探針組合在一起得到的位移傳感器測(cè)量，就會(huì)使得所測(cè)數(shù)據(jù)在經(jīng)過一些適當(dāng)?shù)奶幚砗缶蜁?huì)得到被測(cè)表面的輪廓的一些數(shù)據(jù)。而且因?yàn)檫@種機(jī)械探針測(cè)量方法是屬于接觸式測(cè)量，所以被測(cè)表面就會(huì)容易損傷。

 

再給大家介紹一種關(guān)于光學(xué)探針式的形貌測(cè)量方法：這種光學(xué)探針式的形貌測(cè)量方法其實(shí)與機(jī)械探針式測(cè)量方法在原理上其實(shí)基本上都是相似的，不同點(diǎn)主要在于探針是聚集光束。但是光學(xué)探針式的形貌測(cè)量方法主要是根據(jù)所采用的光學(xué)原理不同而去實(shí)施的。所以光學(xué)探針的形貌測(cè)量方法又可以具體的被分為幾何光學(xué)原理型和物理光學(xué)原理型這兩種不同的類型。